儀器介紹

XT-NA+型超純水在線鈉離子監(jiān)測儀采用電極法測量，可用于實時監(jiān)測水體中鈉離子的濃度，主要應(yīng)用于電力與能源行業(yè)、電子半導(dǎo)體等領(lǐng)域。具體包括監(jiān)測電廠中鍋爐給水、蒸汽冷凝水、循環(huán)水中的鈉離子含量，超純水制備系統(tǒng)用于晶圓清洗、蝕刻等工藝的超純水鈉離子監(jiān)測。

技術(shù)特點

采用恒壓水樣設(shè)計，保證堿化效果平穩(wěn)；

創(chuàng)新的流路系統(tǒng)，保證測量快速準確；

超純水在線鈉離子監(jiān)測儀內(nèi)置標定杯，方便進行標定；

二點標定，保證測量準確；

支持自動校準、自動清洗、自動數(shù)據(jù)存儲及多通道檢測，減少人工干預(yù)；

無需預(yù)處理樣品，適合24h連續(xù)在線監(jiān)測；

隔離的4～20mA電流輸出，通訊接口可選擇RS-485，便于接入自動化控制系統(tǒng)；

程序設(shè)計簡單，操作界面清晰，保證用戶能直接上手操作。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體與電子工業(yè)

超純水制備系統(tǒng)：用于晶圓清洗、蝕刻等工藝的超純水鈉離子監(jiān)測（靈敏度達0.01μg/L），防止微量污染影響芯片良率。

技術(shù)指標

產(chǎn)品型號：XT-NA+

測量范圍：2~9.00pNa，0.23μg/L~2.30g/L，0.00~14pH

顯示方式：彩色液晶屏顯示，耐溫至80℃不變黑

精 確 度：±0.05pNa或±5µg/L（在校準溫度的±10℃以內(nèi)）

分 辨 率：0.01pNa或0.1μg/L；

溫補范圍：0～60℃

運行條件：流量100—300mL/min，溫度5～50℃，壓力50-300Kpa，水樣不大于5微米（無膠狀物，無油脂）

環(huán)境溫度：0-45℃，85%RH不結(jié)露

繼 電 器：標配2組，可擴展6組，常開觸點

電流輸出：4～20mA輸出

數(shù)字輸出：RS-485數(shù)字通訊

供電電源：AC220V，50HZ

安裝方式：面板開孔/壁掛安裝