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電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測是保障超純水(UPW)品質(zhì)的核心設(shè)備,主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)測水中硅酸根離子(SiO?²?)的痕量殘留,防止硅污染導(dǎo)致的芯片良率下降,其檢測下限可至0~200μg/L,精度達(dá)±2%FS,并支持至多6通道檢測,通過實(shí)時(shí)硅離子數(shù)據(jù)反饋,可聯(lián)動(dòng)水處理系統(tǒng)動(dòng)態(tài)調(diào)整反滲透(RO)和離子交換工藝,確保硅含量≤0.1mg/L。
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