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電子半導體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測是保障超純水(UPW)品質(zhì)的核心設(shè)備,主要用于實時監(jiān)測水中硅酸根離子(SiO?²?)的痕量殘留,防止硅污染導致的芯片良率下降,其檢測下限可至0~200μg/L,精度達±2%FS,并支持至多6通道檢測,通過實時硅離子數(shù)據(jù)反饋,可聯(lián)動水處理系統(tǒng)動態(tài)調(diào)整反滲透(RO)和離子交換工藝,確保硅含量≤0.1mg/L。
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